硅烷氣體檢測儀主要用于檢測環境空氣中泄漏積聚的甲硅烷蒸氣的濃度含量，從類型上來看，主要可以分為固定在線式硅烷檢測儀和便攜式硅烷氣體測漏儀兩大類，超標聲光振動報警，信號遠程傳輸，并且都可選配溫濕度測量、無線傳輸、降溫除塵除濕、集中顯示聯鎖控制等功能。